制裁下でも微細化を進める中国SMICの7nmプロセスと、Huaweiが開発する国産EUV装置LDP方式の最新動向を整理し、技術ノードの現在地と今後の展望を2026年時点の信頼できる情報に基づいて解説します。中国がEUVなしで進める微細化の限界や、LDP方式実用化時の産業構造への影響、技術ノード評価への示唆も解説します。
制裁下で進化を続ける中国半導体
SMIC 技術ノードの現在地と Huawei の国産 EUV(LDP方式)計画
米国の輸出規制により、最先端半導体の製造に不可欠な EUV(極端紫外線露光装置)を入手できない中国。しかしその制約下でも、中国最大のファウンドリである SMIC は独自の工夫で微細化を進め、Huawei は国産 EUV の開発に踏み出している。
この記事では、最新の解析レポートと信頼できる技術メディアの情報をもとに、SMIC の技術ノードの進化と Huawei の EUV 開発(LDP方式)を整理する。
SMIC はどこまで微細化できているのか
SMIC は EUV を使えないため、DUV(深紫外線)多重露光を極限まで活用している。それでも 7nm 世代(N+2 / N+3)を量産レベルで実現している。
TechInsights の解析によれば、Huawei Kirin 9030 は SMIC の N+3(7nm 改良版)プロセスで製造されている。
Source: TechInsights – SMIC N+3 Confirmed: Kirin 9030 Analysis Reveals How Close SMIC Is to 5nm
SMIC の FinFET 技術ノード
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14nm FinFET(2019〜)
SMIC 初の FinFET ノード。TSMC 16nm 世代に相当し、中国国内向け ASIC で広く採用された。
N+1(第1世代 7nm系)
この世代は謎に包まれている。
N+2(第2世代 7nm)
TechInsights は N+3 を「N+2 の拡張版」と説明しており、N+2 が SMIC の本命 7nm に相当することが示唆される。
N+3(改良型 7nm)
Huawei Kirin 9030 が N+3 プロセスで製造されている。N+2 より密度・電力効率が改善されているが、TSMC 5nm には到達していない。
Source: Tom’s Hardware – SMIC N+3 は 5nm には届かない
SMIC 技術ノードの比較
| ノード | 世代 | 特徴 | 採用例 |
|---|---|---|---|
| 14nm | 1st FinFET | 中国初の FinFET | 産業用 ASIC |
| N+1 | — | ※謎の世代 | — |
| N+2 | 7nm級 | 第2世代 | — |
| N+3 | 改良型 7nm | Kirin 9030 に採用 | Huawei Mate 80 シリーズ |
SMIC が抱える課題
TechNews など複数の解析記事が指摘するように、SMIC の微細化には限界もある。
- EUV が使えないため工程が複雑化
- DUV 多重露光は歩留まりリスクが高い
- N+3 は 7nm+ 相当であり、TSMC 5nm には届かない
Source: TechNews – 拆解 Mate 80 系列確認:華為麒麟 9030 採中芯 N+3 製程
Huawei が国産 EUV を開発中という報道(LDP方式)
2025〜2026年にかけて、複数の信頼できる技術メディアが「Huawei が独自の EUV リソグラフィ装置を開発している」と報じている。ASML の LPP(Laser Produced Plasma)方式とは異なり、Huawei は LDP(Laser-induced Discharge Plasma)方式を採用している点が特徴だ。
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LDP vs LPP の比較
LPP(ASML)
- 高出力レーザーでスズ滴を照射しプラズマ化
- 世界で唯一量産レベルに到達
- 装置は 3.8 億ドル級と超高額
- 制御が複雑で巨大な光学系が必要
LDP(Huawei)
- スズを電極間で放電プラズマ化
- レーザーは補助的に使用
- 構造がシンプルで小型化しやすい
- エネルギー効率が高い
- 製造コストを大幅に下げられる可能性
Huawei と SMIC が共同で LDP EUV を開発しており、2025年に試験開始し、2026年量産の可能性が報じられている。
Sources:
Global SMT – Huawei+SMIC の LDP EUV 開発
TechPowerUp – 中国が国産 EUV を開発、東莞施設でテスト中
eeNews Europe – 2025年試験・2026年量産の可能性
今後の展望
現時点で確実に言えるのは次の通り。
- SMIC は N+3(改良型 7nm)を商用レベルで量産
- Huawei は国産 EUV(LDP方式)を本格開発中
- 中国は「EUVなしの7nm」と「国産EUV」の二正面作戦で先端化を進めている
EUVなしでどこまで進化できるのか。そして Huawei の EUV が実用化する日は来るのか。2026年以降の中国半導体産業を占う重要なテーマとなる。


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