半導体装置

2025年9月開催のSEMI-e深圳国際半導体展にて、中国半導体装置・材料メーカーの最新動向を現地取材。NAURAのPVD/CVD、KFMIのCuMnターゲット材、AMECの5nm対応エッチング技術など、成熟領域と未踏領域を深掘り。中国製装置の量産対応力や最先端技術への課題も明らかに。-半導体News/中国半導体最前線